簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "doping".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="IBSD"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    以反應式離子束濺鍍法沉積摻雜鋁氧化鋅薄膜之特性分析
    • 光電工程研究所 /98/ 碩士
    • 研究生: 張婉君 指導教授: 趙良君
    • 本實驗使用反應式離子束濺鍍法在矽(100) 基板上沉積氧化鋅掺雜鋁薄膜,利用改變基板溫度、鋁摻雜含量來觀察薄膜特性的改變,分別使用200℃、100℃及室溫來成長薄膜。200℃沉積之晶粒大小最大約為9…
    • 點閱:172下載:1
    1